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高純氫氣發(fā)生器(CVD,MOCVD/金剛石MPCVD/半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器)不僅能夠提供高純度、穩(wěn)定壓力的氫氣，還具有多項(xiàng)結(jié)構(gòu)優(yōu)勢(shì)和應(yīng)用功能，是半導(dǎo)體制造過(guò)程中重要的設(shè)備。

相比昂貴且危險(xiǎn)的高壓氫氣鋼瓶，氫氣發(fā)生器具有很大的優(yōu)勢(shì)。它只需要去離子水和供電即可產(chǎn)生氫氣，一次加水可持續(xù)工作長(zhǎng)達(dá)15天，成本低廉。

HYDROGEN-2L/3L氫氣發(fā)生器只需提供去離子水和供電即可產(chǎn)生氫氣，設(shè)備是一種能夠連續(xù)可靠地產(chǎn)生高純度氫氣的設(shè)備，其純度可達(dá)到99.9999%以上。

HYDROGEN/5L/10L/17L氫氣發(fā)生器是由超純水機(jī)制取二級(jí)水，并儲(chǔ)存至水箱備用的設(shè)備。當(dāng)氫氣發(fā)生器缺水時(shí)，它會(huì)自動(dòng)供給水。此外，多臺(tái)氫氣發(fā)生器還可以串聯(lián)使用，通過(guò)串聯(lián)控制線由一臺(tái)發(fā)生器控制其他發(fā)生器，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)氣均勻分配。

CVD,MOCVD專用氫氣發(fā)生器操作方便使用時(shí)只需打開(kāi)電源開(kāi)關(guān)即可產(chǎn)氫，使用后無(wú)需泄壓，直接關(guān)閉電源即可?？蛇B續(xù)使用，也可間斷使用，產(chǎn)氫量穩(wěn)定不衰減。

高壓氫氣發(fā)生器工作原理主要涉及水電解和化學(xué)反應(yīng)兩個(gè)方面。在高壓氫氣發(fā)生器中，通過(guò)通電使水電解，產(chǎn)生氫氣和氧氣，然后將氫氣收集起來(lái)，供應(yīng)給工業(yè)生產(chǎn)中需要使用氫氣的設(shè)備和工藝。